Institut für Photonische Technologien Jena

Neue Entwickler-Anlage Foto: IPHT
Neue Entwickler-Anlage Foto: IPHT

„MuN-Infrastruktur - Aufbau einer technologischen Infrastruktur zur Herstellung neuartiger mikro- und nanostrukturierter Funktionselemente für die photonische Instrumentierung“
(3 inhaltlich verbundene EFRE-Projekte)

Projektinhalt:

Das Projekt beinhaltet Geräteinvestitionen für technologische Ausrüstungen zur Präparation von Mikro- und Nanostrukturen unter Reinraumbedingungen und den zugehörigen Aufbau- und Verbindungstechniken. Die Investitionen erlauben es, die Dünnschichtprozesstechnik des IPHT sowie die Plasmaätz- und Beschichtungstechniken bis hin zur Nanoanalytik auf den modernsten Stand zu bringen. Dem IPHT wird es damit möglich, auf die aktuellen und künftigen Anforderungen an die Präparation von planaren und 3D-Funktionsstrukturen zu reagieren. Darüber hinaus werden damit Strukturgrößen unterhalb eines Mikrometers bis in den tiefen Nanometerbereich zuverlässig technologisch beherrschbar sein. Zudem wird die großflächige und maßgenaue Strukturierung von hochkomplexen Materialsystemen vorangetrieben.

Es ist abzusehen, dass gerade die infrastrukturelle Erweiterung auf diesem Sektor die Attraktivität des IPHT auch für die umliegenden Forschungseinrichtungen auf dem Campus Beutenberg sowie für Wirtschaftsunternehmen im regionalen Umfeld weiter erhöhen wird und somit ein langfristig strategischer Forschungsschwerpunkt Thüringens von erheblicher wirtschaftlicher Relevanz für den Freistaat auf- und ausgebaut wird.

Mit der Überführung der gewonnenen Erkenntnisse in anwendungsorientierte Entwicklungen und Demonstratoren erfolgt ein Technologietransfer durch die unmittelbare Kooperation mit Thüringer und bundesweiter Unternehmen. Das Projekt leistet damit einen Beitrag zur Stärkung des Forschungs- und Entwicklungspotentials in Thüringen auf den zukunftsträchtigen Innovationsfeldern der photonischen Technologien.

Finanzierung:

Der Freistaat Thüringen fördert den Aufbau der MuN-Infrastruktur am IPHT mit insgesamt 5.530.000 € aus Mitteln des EFRE (4.147.500 €) sowie des Landes (1.382.500 €).